LNEYA工業用冷凍機 メーカー サプライヤー
FLTZ Variable Frequency Series Multi-channel Chillers
アプリケーション
Semiconductor air cooling & water cooling Chiller is mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing. Products include fluid fluorinated liquid temperature control (minimum -100 degrees), gas hot and cold rapid temperature change, rapid temperature change chuck, low temperature gas refrigerator (-120 degrees), direct cooling refrigeration unit (-150 degrees), etc. The company applies a variety of algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
製品パラメーター
FLTZ -20℃～+90℃
| モデル | FLTZ-203W-2T | |
| パイプライン | channel 1 | channel 2 |
| 温度範囲 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 冷却能力 | 4kW@-10℃の場合 | 4kW@-10℃の場合 |
| 暖房能力 | 2kW | 2kW |
| 熱伝導媒体流量 | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 周囲温度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 周囲湿度 | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷却水温度 | 20L/分 | 20L/分 |
| サーキットブレーカー | 30A | |
| 重量 | 400kg | |
| 寸法cm | 500*900*1600 | |
FLTZ -45℃～+40℃
| モデル | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| パイプライン | channel 1 | channel 2 |
| 温度範囲 | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| 冷却能力 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| 暖房能力 | 2kW | 6kW |
| 熱伝導媒体流量 | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 周囲温度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 周囲湿度 | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷却水温度 | 40L/min | 20L/分 |
| サーキットブレーカー | 80A | |
| 重量 | 550kg | |
| 寸法cm | 600*1000*1850 | |
FLTZ -10℃～+80℃
| モデル | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| パイプライン | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| 温度範囲 | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| 冷却能力 | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| 暖房能力 | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| 熱伝導媒体流量 | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 周囲温度 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 周囲湿度 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷却水温度 | 30L/分@15~20 | 15L/分@15~20 | 15L/分@15~20 |
| サーキットブレーカー | 100A | ||
| 重量 | 600kg | ||
| 寸法cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -20℃～+50℃
| モデル | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| パイプライン | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| 温度範囲 | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| 冷却能力 | 15kW@-10℃の場合 | 13kW@PCW+15 | 8kW@PCW+10℃の場合 |
| 暖房能力 | 2kW | 6kW | ポンプの熱損失 |
| 熱伝導媒体流量 | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 周囲温度 | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| 周囲湿度 | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷却水温度 | 30L/分@15~20 | 15L/分@15~20 | 15L/分@15~20 |
| サーキットブレーカー | 75A | ||
| 重量 | 600kg | ||
| 寸法cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -45℃~90℃
| モデル | FLTZ-203W/2Tデュアルシステム | FLTZ-305W/2Tデュアルシステム | FLTZ-406W/2Tデュアルシステム | |||
| 温度範囲 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 熱伝導媒体流量 | 15~45l/min 最大6bar | |||||
| 暖房能力 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 冷却能力 | 15℃で3kW | 15℃で3kW | 15℃で5kW | 15℃で5kW | 2.5kW、-35 | 2.5kW、-35 |
| 内部循環液量 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| 膨張タンク容量 | 15L | 25L | 25L | |||
| 熱伝導媒体 | フッ素系液体、不凍液、熱伝導性シリコーンオイルなど | |||||
| 冷媒 | R404A/ R448 | |||||
| 熱伝導媒体界面 | ZG3/4 | |||||
| 冷却水インターフェース | ZG3/4 | |||||
| 冷却水インターフェース | 20℃で50L/分 | 20℃で600L/min | 20℃で50L/分 | |||
| パワー | 三相220V/三相400V/三相460V | |||||
製品の利点
- 効率的な生産の安定性と再現性の結果；
- プレート式熱交換器とパイプラインヒーターを使用して、冷却と加熱の速度を向上させる；
- 温度範囲が非常に広く、液体媒体を交換する必要がない；
- 熱伝導性液体の寿命を延ばす完全密閉システム；
- 磁気駆動ポンプを採用し、軸封漏れの問題がない；
- 高温冷却技術は、直接300℃で冷却するためにコンプレッサーを起動します。
可変周波数ポンプは、循環油圧圧力と流量を調整することができます。
クライアント出力信号
通信機能
アプリケーション
例えば、ファブ設備の処理温度を制御するチラーなどだ。
半導体計測システムにおけるCMOS/CCDセンサーの冷却。
半導体計測AOIシステム用循環式チラー。
シングルチャンネル空冷式クーラーで、主にエッチングマシン用に設計されています。チャンバー側壁の独立した温度制御に使用されます。
使用目的 プラズマベベルエッチングと蒸着; 金属タングステンの熱原子層エッチング.
LNEYAではカスタマイズされたチラーサービスを提供しています。
カスタムチラーサイズ
ポータブル、コンパクト、大型、小型の冷凍機にかかわらず、お客様のご要望に応じてカスタム設計いたします。何トンのスリラーが必要でも、私達は最もよい解決を作成してもいいです。
カスタム冷凍機タイプ
空冷式、水冷式、蒸発凝縮式など、様々な冷凍タイプのチラーを提供しています。冷凍コンプレッサーの種類にかかわらず、お客様のご要望に応じて設計いたします。
カスタム温度範囲
当社は-150℃から+350℃までの温度に対応するカスタムソリューションを作成することができます。特定の産業向けのカスタム温度範囲
カスタム冷凍機電圧
あなたの必要性に従ってスリラーの電圧および段階をカスタマイズして下さい。任意 110V/60HZ、220V/60HZ、380V/50HZ、220V/50HZ、400V/50HZ、460V/60HZ、440V~480V/60HZ、等。
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